新創(chuàng)納公司擁有非常完備的cmp拋光液驗(yàn)證設(shè)備，在cmp拋光液的開發(fā)研究中起著至關(guān)重要的作用，這些設(shè)備能夠滿足各種尺寸、材質(zhì)襯底材料的拋光液制成驗(yàn)證。

銅盤拋光機(jī)用于晶圓拋光制成前一道的銅拋制成。

CP-4測試機(jī)臺(tái)可以在線檢測拋光過程中的摩擦系統(tǒng)、溫度和聲學(xué)信息的變化，用于拋光過程中各種數(shù)據(jù)的收集，非常適合于拋光機(jī)理的研究。

32SPAW單面拋光機(jī)，用于對金屬、陶瓷等材料所需拋光液的開發(fā)研究。

36GPAW單面軟拋機(jī)，用于對藍(lán)寶石晶圓、化合物半導(dǎo)體等材料所需拋光液的開發(fā)研究。

50GPAW單面拋光機(jī)，用于對大尺寸藍(lán)寶石晶圓、大尺寸硅片等材料所需拋光液的開發(fā)研究。

DSM 16B雙拋機(jī)用于對各種材料雙拋拋光液的開發(fā)研究。

超聲波清洗機(jī)用于拋光完后晶片的清洗，以便對拋光后的晶片表面進(jìn)行粗糙度和缺陷等情況的檢測。