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CMP化學機械拋光團隊

上海新安納電子科技有限公司團隊介紹

宋志棠,新安納公司董事長,特聘研究員,國家超級973、國家集成電路重大專項項目的首席科學家,第四批國家科技創(chuàng)業(yè)領軍人才,上海市領軍人才、國務院特殊津貼、跨世紀千百萬人才國家級人選。國內(nèi)PCRAM材料與器件研究的開創(chuàng)者,研制出我國第一款PCM芯片,其1500萬顆嵌入式芯片在國際首次應用,創(chuàng)立相變八面體基元理論,自主ScSbTe、TiSbTe材料與雙溝道二極管等用于芯片。帶領團隊建立起國內(nèi)第一條自主的電子級二氧化硅納米磨料生產(chǎn)線,研發(fā)出的電子二氧化硅納米磨料和拋光液實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化,每年產(chǎn)出超億元。在Sciences、Nature comm等期刊發(fā)表511篇論文,他引4517次;國內(nèi)外授權發(fā)明專利284項。“電子級二氧化硅納米拋光新材料及工業(yè)化制備關鍵技術”2016年獲上海市技術發(fā)明獎一等獎,“相變存儲芯片制造核心技術及嵌入式應用”2018年獲上海市科學技術發(fā)明獎二等獎,相變材料的研究獲得2019年度中國材料研究學會科學技術一等獎。

劉衛(wèi)麗,新創(chuàng)納公司總經(jīng)理,二級研究員,國家創(chuàng)新人才推進計劃中青年創(chuàng)新領軍人才,曾獲上海市技術發(fā)明一等獎、中國科協(xié)杰出青年成果轉化獎、國家科技進步一等獎等獎項和榮譽稱號。是新安納和新創(chuàng)納兩家公司的發(fā)起人之一,劉博士是國家“十一五”和“十二五”兩項國家重大專項項目負責人和首席科學家,她帶領團隊建立了具有自主知識產(chǎn)權的電子級二氧化硅納米磨料中試和生產(chǎn)線;開發(fā)了納米材料生長新工藝,從原理和工藝上解決了納米材料粒徑不穩(wěn)定的問題;開發(fā)了高效藍寶石拋光液、金屬拋光液、硅片拋光液、氧化硅拋光液等。先后發(fā)表SCI論文一百多篇,被引用1580余次。申請國內(nèi)外發(fā)明專利98項,其中授權71項(2項為美國專利)。

新創(chuàng)納公司在董事長宋志棠博士和總經(jīng)理劉衛(wèi)麗博士的帶領下,共有博士9名,高級職稱7名,研發(fā)人員30多名。既有納米材料制備領域的材料專家,也有來自于拋光液公司對于磨料的需求和技術發(fā)展具有深刻理解的人才,還有在集成電路半導體化學機械平坦化與拋光方面的微電子專家,這幾類人才可以保證新創(chuàng)納產(chǎn)品在CMP化學機械拋光上具有較強的優(yōu)勢。另外公司管理隊伍整體素質(zhì)較高,有著良好的知識結構、年齡結構,富有激情和創(chuàng)新精神。

新創(chuàng)納公司團隊介紹

聯(lián)系人:李博士

手機: 186-2157-4686

郵箱: viplee@mail.sim.ac.cn

上海地址: 上海市金山區(qū)天工路285號20幢

浙江地址: 浙江省海寧市斜橋鎮(zhèn)云星路138號

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